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预加热滑动双温区PECVD系统

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所属分类:PECVD系统
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预加热滑动双温区PECVD系统产品特点: 生长温度低;沉积速率快;成膜质量好,适用范围广,设备简单。

预加热滑动双温区PECVD系统产品概述:

预加热滑动双温区PECVD系统产品应用:

    预加热滑动双温区PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

产品组成:

    此款配置:

      1.1200度开启式双温区真空管式炉

      2.滑动系统分为手动、电动滑动,并配置管内测温系统。

      3.预加热开启式管式电炉

      4.等离子射频电源 

      5.多路质量流量控制系统

      6.真空系统(可选配中真空或高真空)   

产品特点:

    生长温度低;沉积速率快;成膜质量好,适用范围广,设备简单。

 

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