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快速退火炉的应用领域和使用条件介绍
发布时间:点击次数:113 发布时间:2019-04-24次
快速退火炉具有升温速度快、密封好、温度范围宽、实验方便等特点。
 
真空快速退火炉的应用领域:
 
- 离子注入/接触退火;
- 快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);
- 可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用;
- SiAu, SiAl, SiMo合金化;
- 低介电材料;
- 晶体化,致密化;
- 太阳能电池片键合
 
快速退火炉适用于下列工作条件:
 
(1)环境温度在-10~75℃之间。
(2)周围环境的相对湿度不超过85%。
(3)炉子周围没有导电尘埃,爆炸性气体及严重破坏金属和绝缘材料的腐蚀性气体。
(4)没有明显的倾斜﹑振动和颠簸。
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